当前位置:首页 主页 > 新闻中心 > 冷却循环水机在真空镀膜机和真空系统的应用

冷却循环水机在真空镀膜机和真空系统的应用

                                                                                   冷却循环水机在真空镀膜机和真空系统的应用
在实验室物理实验室特别是材料实验室,真空镀膜机及真空泵分子泵等,真空镀膜机有很多种离子镀膜机,磁控溅射镀膜机,蒸发式镀膜,PECVD,沉积系统,等作为重要的材料加工设备,温度控制显得尤为重要,而冷却循环水机作为温控重要的组成部分,是一种强制性制冷设备,不受外界影响,提供恒温,恒压,恒流等冷却设备真空系统主要包括两部分冷却,腔内靶材冷却,真空系统冷却,以及分子泵冷却等,而每个地方的温度使用段又不一样。具体不同的镀膜机对温度要求又不一样,这样对我没冷却循环水机要求,选型会有很大的区别,一般磁控溅射,PECVD,离子镀膜要求靶材温度控制在18-22℃,蒸发式镀膜控制在25℃左右,真空腔体控制温度在28-30℃之间,真空泵控制在25-28℃之间。
达沃西专注于各种设备和工艺制冷解决方案,我们将为客户提供完美制冷解决方案,专业生产冷水机,冷却循环水机,小型冷水机,实验室冷水机